Ростех разработал первые российские OLED-микродисплеи

Микродисплей размером 15,5х12,5 мм выдает изображение с разрешением 1280х1024 пикселей и шагом пикселей в 12 мкм. Производство OLED-микродисплеев требует соблюдения повышенных требований к технологическому процессу. Так, важно соблюдать высокую точность обработки верхнего стека кремниевой сверхбольшой интегральной схемы (СБИС) и нанесения многослойной OLED-структуры, толщина которой не превышает 100 нанометров.

«Россия вошла в пятерку стран в мире, которые владеют технологиями создания OLED-микродисплеев. Нам удалось не только освоить сложнейшую технологию изготовления, но и добиться высокого качества выпускаемых изделий. Наше предприятие готово ежегодно выпускать до 5000 устройств», – сказал генеральный директор Объединенной приборостроительной корпорации Сергей Сахненко.

ОКР и освоение серийного производства выполнены ЦНИИ «Циклон» холдинга «Росэлектроника». ЦНИИ «Циклон» является единственным в России предприятием, обладающим промышленным оборудованием и технологией для изготовления OLED-структур и устройств на их основе. Технологии создания кремниевых микросхем управления и изготовления OLED-микродисплеев запатентованы и защищены режимами секрета производства ноу-хау.

Создание российской кремниевой СБИС проходило в широкой кооперации предприятий Госкорпорации Ростех. Схемотехнические решения разработаны НИИМА «Прогресс», топология – НИИМЭ, а кремниевые 200-мм пластины со СБИС изготовлены компанией ПАО «Микрон», входящей в ГК «Элемент» (совместное предприятие Госкорпорации Ростех и АФК «Система»), сообщили в пресс-службе Госкорпорации Ростех.